就在今天  ，越来越大广州复工复产的快速推进  ，东方晶源积极领导组织设备交付目前工作 ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和非常关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付广州最终客户。此举 出机  ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机欧美其他国家知名晶圆代工厂后  ，第二次认可头部最终客户的青睐和认可。另一其它方面  ，标志着东方晶源硬件类产品可进入 批量交付全新模式。

此举 出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程 ，除较强该系列类产品惯大多高灵敏度电性和物理缺陷检测、持续有效如何问题28nm及达到良率如何如何问题、自主创重新高性能缺陷检测引擎（DNA总体数据库）、做基础深度认真学习的缺陷自动分类（ADC）算法等类产品特点外  ，东方晶源研发强强大团队就在上一代类产品的做基础上升级优化优化  ，使SEpA-i515较强更高的TPT和更优的大平台设计方式  ，设备运行效率、性能指标均有大幅不断提升。就是就是 ，上一代类产品SEpA-i505 早已在欧美其他国家头部晶圆代工厂量产三年  ，类产品性能及稳定性认可充分验证。

另一台交付的类产品为非常关键尺寸量测设备  ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程  ，使用先进的电子束成像系统提供和高速硅片传输方案  ，搭配组合 精准的量测算法  ，可能实现高重复精度、高分辨率及高产能的非常关键尺寸量测。该设备自上个月6月底可进入 欧美其他国家头部晶圆代工厂多来产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果认可最终客户认可。

东方晶源电子束量测检测设备  ，依托所承担的其他国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化相关方面项目 ，历经数年攻坚克难  ，突破多项核心非常关键新型技术 ，从零部件到整机设计方式制造  ，均较强所以自主知识产权  ，填补欧美其他国家空白。目前仍然 ，两款设备可进入 批量交付全新模式  ，产业化进程成就 丰硕成果。

此举 设备交付的最终客户所在在地海我在国集成电路产业较强举足轻重的地位  ，目前仍然早已变成欧美其他国家集成电路产业综合水准高、产业链完整、产业生态生活环境是好 集聚地变成。东方晶源更家看重在广州的加速发展和布局  ，继计算光刻该软件（OPC）可进入 广州头部晶圆代工企业中后  ，硬件类产品正式公布登陆广州。为需求需求提供的附加服务达到海为核心的长三角最终客户  ，东方晶源正式公布上个月8月份在广州设立子新公司 ，全新模式形成广州总部、广州子新公司和广州子新公司为核心的三地布局  ，初步企业中贴近产业前沿高地 ，为集成电路企业中中带去优质的类产品和附加服务  ，需求需求提供的与上下游企业中携手初步产业加速发展的另一其它方面  ，构筑企业中多方面竞争壁垒。

东方晶源自筹备成立多来  ，专注于芯片制造非常关键环节的良率全面控制和不断提升技术领域  ，全新模式形成以计算光刻该软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的类产品矩阵  ，并向需求需求提供相关方面技术领域积极布局。硬件其它方面  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发目前工作  ，初步夯确实欧美其他国家电子束检测技术领域领先的目前市场地位和核心新型技术天然优势。该软件其它方面  ，光刻工艺严格仿真该软件PanSim早已在最终客户侧使用验证  ，仍将维持7月底release V1.0版本。未来十年 ，东方晶源将立足通用该软件大平台和检测装备两大技术领域  ，寻求横纵向加速发展机遇  ，为最终客户需求提供更家多样化的类产品  ，向着欧美其他国家集成电路技术领域良率管理领导者的两个目标奋进。