7月9日 ，由国家集成电路创新控卫中主办的”2022集成电路产业链协同创新发展中交流会”以六大会场加图片连线的方式多同步如期举行。腾讯体育集成电路全产业链各环节的优秀型企业、高校和科研院所的千余位代表者参会 ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海余先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业新型技术创新奖（简称“IC创新奖”）  ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI）  ，得到新型技术创新奖。

　　“IC创新奖”由国家集成电路创新控卫中主办 ，面向到国内集成电路产业链上下游企事业单位确定征集  ，重点鼓励集成电路新型技术创新、成果产业化、产业链上下游正式合作 ，是集成电路产业最重要的的性 性 的新型技术奖项这是 ，另有新型技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大新型技术创新和最重要的的性 新型技术开发能力方面胜利重大突破的单位确定和大团队 。此举 摘得行业发展重磅赛事的最重要的的性 奖项 ，再第三次 彰显出东方晶源在电子束检测、量测新兴领域的新型技术真实实力和行业发展的实际高度认可。

　　检测是芯片制造厂商降低良率的最重要的的性 方式多。电子束检测设备具备超高精度  ，在高端芯片制造整个过程发挥的效用日渐大。目前再第三次  ，该类设备被到国内厂商垄断 ，这是 制约中国芯片制造自主可控的最重要的的性 瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，成功了研响声到国内首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505  ，可公司提供 完整的纳米级缺陷检测和分析得出解决目前方案。目前再第三次 已对其中国头部芯片制造厂商产线验证 ，验证然而表明原因指标与到国内一线对标机台左右同等水准  ，成功了解决中国在电子束检测新兴领域的最重要的的性 新型技术解决目前。

　　东方晶源在电子束检测、量测新兴领域已深耕多年并成功了率先推出多款设备 ，胜利重大突破。除此举 获奖的电子束缺陷检测设备EBI外  ，旗下首台12英寸最重要的的性 尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于从去年底6月正式进入产线验证  ，目前再第三次 最后完成成熟制程量产验证  ，图像质量清晰 ，与POR 的CD差异又实际需求相关要求  ，性能再第三次 改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于从去年底3月正式进入产线验证  ，目前再第三次 如今正式进入准客户产线小规模试产。另有  ，东方晶源还于近来正式发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM）  ，目前再第三次 该设备工程机（Alpha机）如今对其首轮wafer demo  ，能够又实际需求28nm及左右有制程又实际需求 ，Beta机集成其它工作加速推进中 ，已胜利准客户订单  ，正式进入产线验证指日可待。

　　这是 该家 聚焦集成电路良率管理新兴领域 ，以降低芯片制造门槛为使命的半导体型企业  ，东方晶源再第三次 以研发创新为发展中核心  ，随着丰富系列产品 矩阵并降低系列产品 性能  ，填补多项到国内空白。今后  ，东方晶源将再第三次 立足一体化软件程序 其他平台和检测装备两大新兴领域  ，以准客户为服务中心  ，以整体市场为导向  ，随着对其新型技术突破与系列产品 创新 ，与中国集成电路产业上下游型企业勠力同心  ，推动中国集成电路制造产业再第三次 高速发展中。